沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透,兴奋得睡不着
喝了一杯茶,他想看看芯片制造技术的核心设备:光刻机
目前市场上,有两种主流光刻机,一个是DUV光刻机,另一个是EUV光刻机
DUV是深紫外线(DeepUltravioletLithography),EUV是极深紫外线(ExtreUltravioletLithography)
从制程范围来看,DUV基本上只能做到25nIntel凭借双工作台的模式做到了10n但是却无法达到10n下
只有EUV能满足10n下的晶圆制造,并且还可以向5n3n续延伸
这个线宽其实就是跟光的线宽有关系,比如可见光的G线,那就是436n如果用来刻蚀,线路肯定很宽
可以简单地认为,光刻机的光系统其实就是一支画笔,不同的光代表不同粗