下午四点多的时候，倪广南急匆匆地来到赵烨的办公室

    “老板，经过我这些天的调查，自建晶圆厂，若是想实现大部分生产设备国产化，实在是困难重重！”    倪广南叹道，“80年代初，中科院半导体所研制成功JK-1型半自动接近式光刻机

随后，上海光学机械厂的研制的JKG-3型光刻机通过鉴定与设计定型

近日，中科院微电子研究所成功研制BG-101步进式光刻机，性能指标接近美国GCA公司4800DSW系统的水平，中科院上海光学精密机械研究所研制的扫描式投影光刻机通过鉴定

武汉无线电元件三厂已经在光刻机项目上有了20多年的技术积累

    以上都是在实验室研制成功的，但事实生产过程中，难以保证良品率……”    “另外，半导体产业链很多的相关研究，都因为资金短缺，而停止了

过上两年，这些研究成果基本上就荒废或过时了

而且人才也开始大量流失，难以找回

所以，我们必须尽早行动！” &